High Precision Programmable Vacuum Pressure Controller & Temperature Controller
一、簡(jiǎn)介
依陽公司出品的VPC2021系列控制器是一種強(qiáng)大的多功能高度智能化的真空壓力溫度測(cè)量、顯示和控制儀器，采用了24位AD、16位DA、0.01%最小輸出百分比和人工智能PID控制技術(shù)，可與各種型號(hào)的真空壓力傳感器（真空計(jì)）、流量計(jì)、溫度傳感器、位置傳感器、電動(dòng)調(diào)節(jié)閥門和加熱器等連接，可實(shí)現(xiàn)高精度真空壓力（壓強(qiáng)）、流量、溫度和張力等參量的定點(diǎn)和程序控制，是一種替代國(guó)外高端產(chǎn)品的高性能和高性價(jià)比控制器。
二、主要技術(shù)指標(biāo)
（1）測(cè)控精度：±0.05%FS（24位ADC），16位DAC，雙浮點(diǎn)運(yùn)算。
（2）輸入信號(hào)：可連接眾多真空壓力傳感器，47種信號(hào)輸入類型（電壓、電流、熱電偶、熱電阻）。
（3）控制輸出：4種控制輸出類型（模擬信號(hào)、固態(tài)繼電器、繼電器、可控硅），可連接眾多電動(dòng)調(diào)節(jié)閥。
（4）控制精度：±0.1%FS（16位DAC），控制輸出最小百分比0.01%。
（5）控制算法：PID控制和自整定（可存儲(chǔ)和調(diào)用20組PID參數(shù)）。
（6）控制方式：定點(diǎn)和程序控制，最大可支持9條控制曲線，每條可設(shè)定24段程序曲線。
（7）控制周期：50ms。
（8）通訊方式：RS 485和以太網(wǎng)通訊。
（9）供電電源：交流（86-260V）或直流24V。
（10）外形尺寸： 96×96×136.5mm （開孔尺寸92×92mm）。
三、特點(diǎn)和優(yōu)勢(shì)
（1）高精度24位數(shù)據(jù)采集、16位控制輸出和雙浮點(diǎn)運(yùn)算使得此系列控制器具有超高精度（優(yōu)于0.1%）的控制能力。
（2）具有各種不同類型信號(hào)的輸入功能，可覆蓋多種測(cè)量傳感器，既可連接真空計(jì)用來控制真空壓力和壓強(qiáng)，也可用來控制其它變量，如連接流量計(jì)用來控制流量、連接溫度傳感器用來進(jìn)行溫度控制等。
（3）可連接和控制幾乎所有的電動(dòng)調(diào)節(jié)閥和數(shù)字控制閥門，也可連接控制各種加熱裝置，結(jié)合傳感器由此組成可靠的閉環(huán)控制系統(tǒng)。
（4）控制器體積小巧和使用靈活，即可獨(dú)立做為面板型控制器使用，也可集成在測(cè)試系統(tǒng)整機(jī)中使用。
（5）采用了標(biāo)準(zhǔn)的MODBUS通訊協(xié)議，便于控制器與上位機(jī)通訊和進(jìn)行二次開發(fā)。
（6）具有正反向控制輸出功能，可實(shí)現(xiàn)真空壓力的兩種控制模式，一種是可變氣流量（上游控制）壓強(qiáng)控制模式，另一種是可變通導(dǎo)（下游控制）流量調(diào)節(jié)模式。
（7）可連接兩個(gè)傳感器，并可進(jìn)行自動(dòng)切換，由此可實(shí)現(xiàn)擴(kuò)展測(cè)量量程和傳感器備份。
|
上游控制模式 |
下游控制模式 |
|
上游和下游同時(shí)控制的雙向模式 |
|
四、外形和開孔尺寸
|
|
五、功能說明
（1）超高精度PID控制器的特殊功能（1）——遠(yuǎn)程設(shè)定點(diǎn)功能及其應(yīng)用
（2）超高精度PID控制器的特殊功能（2）——遠(yuǎn)程控制軟件及其安裝使用
（3）超高精度PID控制器的特殊功能（3）——變送功能及其應(yīng)用（4）超高精度PID控制器的特殊功能（4）——分程控制功能及其應(yīng)用
（5）超高精度PID控制器的特殊功能（5）——傳感器線性化處理功能及其應(yīng)用
六、典型應(yīng)用
（1） 氣壓對(duì)材料熱導(dǎo)率測(cè)試影響的試驗(yàn)研究
（2） 星際空間環(huán)境地面模擬——?dú)夥?、氣壓或真空度的精確模擬及控制
（3） 高純度熔融石英圓筒等離子熔融工藝研究-真空度（壓強(qiáng)）控制系統(tǒng)
（4） 真空度（氣壓）控制中的上游模式和下游模式的特點(diǎn)及其新技術(shù)
（5） 徹底講清如何在真空系統(tǒng)中實(shí)現(xiàn)壓力和真空度的準(zhǔn)確測(cè)量和控制
（6） 真空冷凍干燥過程中壓力和真空度控制的最佳操作實(shí)踐
（7） 微波等離子體高溫?zé)崽幚砉に囍姓婵諌毫Φ南掠慰刂萍夹g(shù)及其裝置
（8） 微波等離子體化學(xué)氣相沉積（MPCVD）系統(tǒng)中真空壓力控制裝置的國(guó)產(chǎn)化替代
（9） 高精度壓強(qiáng)（真空）和溫度同時(shí)控制技術(shù)在光譜測(cè)量和光譜儀中的應(yīng)用
（10）具有雙傳感器自動(dòng)切換功能的雙通道24位高精度PID控制器
（11）CVD和MPCVD法鉆石生長(zhǎng)過程中采用雙通道PID控制器控制真空度（氣壓）和溫度
（12）電動(dòng)針閥在上游模式以及電動(dòng)球閥在下游模式真空度（壓強(qiáng)）控制中的考核試驗(yàn)
（13）氫燃料電池膜電極漏率測(cè)試方法中存在的問題及改進(jìn)措施
（14）國(guó)產(chǎn)化替代艾默生ER5000系列電子壓力控制器及其功能擴(kuò)展
（15）壓降法在高溫土壤氣體滲透率測(cè)量中的應(yīng)用及其實(shí)施方案
（16）美國(guó)MKS公司上游流量控制閥及其控制器的國(guó)產(chǎn)化替代
（17）真空濃縮過程中新型PID控制器和高速電動(dòng)閥門對(duì)溫度和壓強(qiáng)的精確控制
（18）真空壓力控制技術(shù)在低溫恒溫器高精度溫度恒定中的應(yīng)用
（21）英?？担↖nficon）VDE016和普發(fā)（Pfeiffer）EVR116氣體控制閥及其控制器的國(guó)產(chǎn)化替代
（22）電動(dòng)針閥和雙通道控制器在真空冷凍干燥高精度壓力控制中的應(yīng)用
（24）微納衛(wèi)星電熱等離子體微推進(jìn)器羽流特性測(cè)試中的低氣壓精確控制方法
（25）探空儀檢定用低壓環(huán)境模擬艙壓力控制系統(tǒng)的升級(jí)改造
（26）瑞利-布里淵散射光譜測(cè)量中溫度和壓力的精確控制方法
（27）階梯光柵光譜儀中壓力的精密控制技術(shù)及其實(shí)施方案
（28）邁克爾遜激光干涉儀微位移和傾角測(cè)量中的真空度精密控制技術(shù)
（29）數(shù)控閥門在MOCVD工藝真空壓力精密控制中的應(yīng)用
（30）旋轉(zhuǎn)蒸發(fā)儀：真空、溫度和旋轉(zhuǎn)的集成式控制器及其耐腐蝕數(shù)控調(diào)節(jié)閥
（31）真空微波干燥（VMD）過程中真空度、溫度和轉(zhuǎn)速的精密控制
（32）真空脈沖鹵制工藝中的真空度和溫度快速和精密控制技術(shù)
（34）月壤環(huán)境地面模擬試驗(yàn)裝置中的真空度精密控制技術(shù)方案
（35）蒸發(fā)濃縮工藝中降低溶劑損耗的真空度精密控制解決方案
（37）采用真空壓力精密控制的吸附夾具實(shí)現(xiàn)超低損耗單模光纖熔融拉錐制作
（39）超導(dǎo)重力儀器中的超高精度溫度（0.1mK）和氣壓控制解決方案
（40）數(shù)字針閥在便攜式真空計(jì)校準(zhǔn)裝置中的應(yīng)用
（41）高精度氣體壓力控制中TESCOM ER5000及其配套背壓閥的國(guó)產(chǎn)化替代案例分析
（42）CVD工藝中MKS下游排氣高速節(jié)流閥的國(guó)產(chǎn)化替代方案及產(chǎn)品
（43）工業(yè)減壓蒸餾工藝中大流量耐腐蝕快響應(yīng)精密真空控制的解決方案
（45）低壓與高壓（負(fù)壓與正壓）之間的真空壓力連續(xù)控制解決方案
（46）呼吸閥在線檢驗(yàn)校準(zhǔn)裝置中的正負(fù)壓連續(xù)精密控制解決方案
（47）循環(huán)腫瘤細(xì)胞（CTCs）檢測(cè)儀器進(jìn)樣系統(tǒng)微小正負(fù)壓精密控制的解決方案
（48）用于微流控芯片的多通道正負(fù)壓力控制器解決方案
（49）CVD和PECVD管式爐真空控制系統(tǒng)的升級(jí)改造
（50）步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)比例閥在氣腹機(jī)精密壓力和流量控制中的應(yīng)用
（51）電氣比例閥作為先導(dǎo)閥結(jié)合真空背壓閥和外置傳感器實(shí)現(xiàn)低氣壓控制的考核試驗(yàn)
（52）掃描電子顯微鏡（SEM）低真空技術(shù)改造以提升觀測(cè)能力的解決方案
（53）真空釬焊爐中大流量正負(fù)壓循環(huán)控制的解決方案
（54）溫度敏感材料干燥過程中的真空度精密控制解決方案文件管理
（55）工業(yè)應(yīng)用中0.1%超高精度PID控制器的實(shí)現(xiàn)及其關(guān)鍵指標(biāo)分析
（56）表壓0.1~0.6MPa范圍內(nèi)0.1?%超高精度壓力控制解決方案及其考核試驗(yàn)結(jié)果
（57）電氣比例閥外接壓力傳感器和PID控制器實(shí)現(xiàn)微正壓的超高精度控制
（58）徹底講清電氣比例閥和壓力傳感器測(cè)控精度的基本概念及其使用方法
（59）三種典型電氣比例閥線性度和短期重復(fù)性的對(duì)比考核試驗(yàn)
（60）PVT法碳化硅SIC單晶生長(zhǎng)工藝真空壓力控制裝置的國(guó)產(chǎn)化替代解決方案
（61）采用電氣比例閥級(jí)聯(lián)控制法實(shí)現(xiàn)研磨機(jī)超高精度壓力控制
（62）微焊接中真空控制系統(tǒng)的壓力調(diào)節(jié)解決方案
（63）采用串級(jí)控制法實(shí)現(xiàn)注塑工藝高壓壓力精密控制的解決方案
（64）超高精度浮輥和張力雙回路控制器：Montalvo張力控制器的國(guó)產(chǎn)替代
（65）串級(jí)、分程、比值、前饋、選擇性和三沖量六種復(fù)雜控制系統(tǒng)簡(jiǎn)述
（66）高壓流變儀用TESCOM ER5000高精度壓力控制系統(tǒng)的國(guó)產(chǎn)化替代方案
（67）真空干燥粉體材料工藝中避免揚(yáng)塵排放等安全隱患的解決方案
（68）防熱材料熱性能測(cè)試和炭化過程中的氧分壓精密控制方法
（69）電氣轉(zhuǎn)換器（I-P電流型、E-P電壓型）與電氣比例閥的基本原理和對(duì)比
（70）更安全、精密和快速的一次性生物反應(yīng)器袋充氣壓力控制的解決方案
（71）短程分子蒸餾器的升級(jí)改造以實(shí)現(xiàn)高精度的真空控制
（72）高精度真空壓力控制儀在昆蟲學(xué)實(shí)驗(yàn)用自動(dòng)氣壓室中的應(yīng)用
（73）超高精度PID串級(jí)控制器和電氣比例閥在輪胎硫化飽和蒸汽外溫變溫控制中的應(yīng)用
（74）具有備份傳感器功能的超高精度PID調(diào)節(jié)器以保證控制過程的安全性
（75）雙通道PID調(diào)節(jié)器用于熱離子發(fā)電裝置中真空壓力和溫度的同時(shí)控制
（77）實(shí)驗(yàn)室用冷凍干燥機(jī)實(shí)現(xiàn)高精度壓力和真空度控制的解決方案
（78）采用壓力串級(jí)控制法實(shí)現(xiàn)氣動(dòng)馬達(dá)高精度調(diào)節(jié)的解決方案
（79）雙層玻璃反應(yīng)釜高精度真空壓力（正負(fù)壓）控制解決方案
（80）閥門定位器的技術(shù)演變及其更新?lián)Q代——電氣比例閥
（81）代替塞規(guī)的高精度孔徑測(cè)量方法——泊肅葉壓差法
（82）低溫刻蝕和沉積工藝中制冷系統(tǒng)的壓力和溫度準(zhǔn)確控制解決方案
（83）反重力鑄造調(diào)壓技術(shù)——高精度快速壓力控制解決方案
（84）低溫超導(dǎo)測(cè)試系統(tǒng)中實(shí)現(xiàn)高精度液氦壓力控制的解決方案
（86）醫(yī)用球囊和導(dǎo)管成型過程中自動(dòng)和手動(dòng)精密壓力控制的解決方案
（88）血液透析過濾芯氣密性檢測(cè)裝置中的精密壓力控制解決方案
（89）高精度真空度控制技術(shù)在液相電子顯微鏡液體厚度調(diào)節(jié)中的應(yīng)用
（92）高精度真空度程序控制在真空解凍過程中的應(yīng)用
（93）在PID控制器上如何實(shí)現(xiàn)正弦波等周期性變量的控制
（95）伸縮和壓力雙參數(shù)精密控制在氣囊拋光中的應(yīng)用
（96）脈沖激光高階諧波產(chǎn)生器的真空系統(tǒng)結(jié)構(gòu)及其精密控制解決方案
（97）熱波法導(dǎo)熱系數(shù)測(cè)試中的正弦波溫度控制解決方案
（98）啤酒生產(chǎn)工藝中的壓力可編程自動(dòng)精密控制解決方案
（99）一種新型低造價(jià)低壓電子束焊接機(jī)中的真空控制系統(tǒng)
（100）真空壓力精密控制技術(shù)在食物油炸過程中的應(yīng)用
（101）熱釋電系數(shù)測(cè)試中帕爾帖半導(dǎo)體制冷片正弦波溫度控制解決方案
（102）溫度PID串級(jí)控制器在提高空氣膜分離制氮產(chǎn)量中的應(yīng)用
（103）徹底講清如何實(shí)現(xiàn)各種單晶爐的0.1%超高精度真空壓力控制
（104）24位AD和16位DA超高精度PID串級(jí)控制器在張力控制中的應(yīng)用
（105）真空壓力控制方法在X射線探測(cè)器窗口薄膜材料楊氏模量測(cè)量中的應(yīng)用
（107）半導(dǎo)體封裝用除泡烤箱真空壓力可編程PID控制的解決方案
（108）調(diào)制式差示掃描量熱法MTDSC中實(shí)現(xiàn)正弦波溫度控制的解決方案
（109）超高真空度自動(dòng)控制解決方案：手動(dòng)可變泄漏閥與電控針閥和組合
（110）半導(dǎo)體設(shè)備中的超高精度微正壓控制解決方案
（111）帕爾貼熱電裝置在形狀記憶合金相變溫度測(cè)量中的應(yīng)用
（112）高精度串級(jí)控制器在印刷和噴繪設(shè)備油墨流量控制中的應(yīng)用
（113）工業(yè)PID調(diào)節(jié)器相對(duì)于可編程邏輯控制器PLC的幾大優(yōu)點(diǎn)
（114）正負(fù)壓力高精度控制在隱形牙齒矯治器熱成型工藝中的應(yīng)用
（115）換熱器熱疲勞試驗(yàn)裝置的溫度交變控制解決方案
（116）耐腐蝕流量調(diào)節(jié)閥和混合調(diào)節(jié)功能PID控制器在次氯酸消毒劑制備中的應(yīng)用
（117）超高真空度調(diào)節(jié)用安捷倫和VAT電動(dòng)可變泄漏閥的國(guó)產(chǎn)化替代
（118）長(zhǎng)光程氣體吸收池的真空壓力精密控制解決方案
（119）包括高真空、低真空和正壓壓力的全量程高精度控制解決方案
（121）微流控壓力控制器和微流控注射泵的性能比較
（123）串級(jí)控制在微流控芯片氣壓驅(qū)動(dòng)進(jìn)樣系統(tǒng)高精度流量調(diào)節(jié)中的應(yīng)用
（124）真空和壓力控制技術(shù)在離體肺通氣裝置中的應(yīng)用
（125）紅外鎖相法無損檢測(cè)中的高精度熱波控制解決方案
（126）電子針閥冷卻流量閉環(huán)控制技術(shù)在降低電主軸熱誤差中的應(yīng)用
（127）石英燈和石墨加熱器熱真空試驗(yàn)裝置中的低氣壓控制解決方案
（128）慢速減壓控制技術(shù)在預(yù)防同步輻射光源和原位透射電鏡氮化硅窗口膜破裂中的應(yīng)用
（129）氣相色譜儀負(fù)壓微量進(jìn)樣裝置的高真空度控制解決方案
（130）三軸儀月壤制樣和力學(xué)性能測(cè)試中的超高真空度控制解決方案
（131）氣體擴(kuò)散層（GDL）涂布工藝中的高精度微張力控制解決方案
（132）采用液氮壓力恒定和輔助加熱技術(shù)實(shí)現(xiàn)超高精度低溫控制的解決方案
（135）超導(dǎo)材料LK-99燒制工藝中高真空度及其氣氛環(huán)境控制的解決方案
（136）銅卡計(jì)混合法比熱容測(cè)定儀的絕熱量熱計(jì)溫度精密控制解決方案
（137）雙閉環(huán)比值控制中的耐腐蝕高速針閥和多功能PID控制器解決方案
（138）單晶硅太陽能電池?zé)嵫趸に囍械恼?fù)壓力精密控制解決方案
（139）溫度疲勞試驗(yàn)系統(tǒng)中的石英燈和液氮?dú)怏w加熱制冷控制解決方案
（140）MEMS密封件漏率和內(nèi)部真空度監(jiān)測(cè)的間接氦質(zhì)譜檢漏法
（141）百度文心一言在開發(fā)高真空度精密控制裝置中的應(yīng)用案例
（142）真空壓力和流量控制技術(shù)在環(huán)境掃描電子顯微鏡樣品桿流體處理中的應(yīng)用
（143）高溫高壓反應(yīng)量熱計(jì)樣品池溫度絕熱和外部壓力補(bǔ)償?shù)慕鉀Q方案
（144）超高真空度精密控制中的皮拉尼計(jì)和電離規(guī)信號(hào)線性化處理解決方案
（145）具有超強(qiáng)冷卻能力的新型膜基散熱器的壓力和溫度控制解決方案
（146）微間隙氣體放電特性分析中的不同壓力精密控制解決方案
（147）真空工藝和儀器設(shè)備中的真空度控制關(guān)鍵部件的國(guó)產(chǎn)化替代現(xiàn)狀
（148）低溫結(jié)霜可視化實(shí)驗(yàn)裝置中的精密真空度控制策略
（149）耐腐蝕電控針閥實(shí)現(xiàn)微量樣品靜態(tài)法飽和蒸氣壓自動(dòng)測(cè)量解決方案
（150）環(huán)境壓力原子力顯微鏡實(shí)現(xiàn)從超高真空到1bar的可變壓力解決方案
（151）玻璃熔窯高精度穩(wěn)定壓力控制方法及其控制系統(tǒng)解決方案
（152）低漏率電動(dòng)針閥在電池?zé)崾Э卦囼?yàn)箱大氣環(huán)境壓力模擬控制中的應(yīng)用
（153）采用夾管閥實(shí)現(xiàn)無菌流體系統(tǒng)中的高精度壓力控制解決方案
（154）定容法梯度充氣式SF6氣室容積測(cè)定中的電控針閥自動(dòng)化解決方案
（155）體外循環(huán)裝置中供血流量的高精度自動(dòng)控制解決方案
（156）壓敏涂料校準(zhǔn)裝置中的溫度、真空壓力和氧濃度精密控制解決方案
（157）顯微鏡探針臺(tái)真空壓力和氣氛精密控制的解決方案
（158）低氣壓環(huán)境沿面閃絡(luò)特性測(cè)試中的真空度精密控制解決方案
（159）碳纖維增強(qiáng)樹脂基復(fù)合材料高溫透率測(cè)試中真空度精密控制解決方案
（160）光聲光譜檢測(cè)裝置中光聲池的高精度氣體壓力控制解決方案
（161）真空熱重分析儀技術(shù)改造：寬量程真空壓力精密控制解決方案
（162）寬變壓環(huán)境質(zhì)譜儀進(jìn)樣系統(tǒng)中的電動(dòng)針閥精密壓力控制解決方案
（163）高溫管式爐真空控制系統(tǒng)技術(shù)升級(jí)改造解決方案
（164）高海拔低氣壓模擬試驗(yàn)箱中高精度真空度程序控制解決方案
